二次元影像仪测量精度所受的影响也是电学误差是CCD器件所固有的；机械误差主要是产生于二次元测量仪的制造和装配的过程中，这个误差可以通过提高制造装配质量可以很好的有效的减小此误差。
1、导轨安装在底座上时要保证足够的水平，需要通过千分表去打水平精度。
2、XY光栅尺安装时需要完全水平，不能有任何倾斜。
3、X、Y工作台需要水平且平行，这就需要导轨安装的时候要水平。
光学误差是成像光路和器件所产生的失真和畸变而存在的。这个主要是由于摄像机的制造和工艺等有关原因，比如射光线在通过各个透镜时，产生的折射误差和CCD点阵位置的误差，所以光学系统存在着非线性的几何失真，导致目标像点和理论像点之间存在多种类型的几何畸变。
1、径向畸变：主要是摄像机镜头的主光轴对称的问题，也就是CCD镜头形状存在的缺陷。
2、偏心畸变：主要是各透镜的光轴中心不能严格共线，导致光学系统光心与几何中心不一致造成的。
3、薄棱镜畸变:相当于在光学系统中附加了一个薄棱镜，不仅会引起径向偏差，也会引起切向偏差，是由于镜头设计、制造缺陷和加工安装的误差造成的。
最后一点就是跟使用人员的操作有关了，也就是人为操作误差，关于人为操作误差主要集中在手动与半自动机器上，自动机器会稍微好一点，人为误差主要有以下几个方面：
1、取点的误差（不清晰的边及有毛刺的边缘的过滤）
2、Z轴焦距调节的误差（也即最清晰点判断的误差）
另外，二次元测量仪的精度也跟使用情况，保养情况以及使用环境密切相关。精密仪器也需要认真维护保养，平时不用的时候注意保持干燥清洁，操作时也需要远离有振动或者噪音大的地点。
