晶圆玻璃测量设备方案
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详细介绍
技术参数
主要特点
1.一体式工作机，稳重大气，安全性高、可靠性强，自带显示面屏，占地空间小，方便应用于车间各场合;
2.全济南青材质底座、立柱及工作台,固定桥式结构，所有紧固件螺母为“T”型结构，承载力大、稳定性好，结构刚性强；
3.通过3组同轴共焦激光取5点测量圆皮带上输送的透明玻璃厚度，设备再线性精度保持在3um以内
4.采用磁力轮传送动力，磁力轮优点为无接触传送动力、无摩擦、无噪音、不产生粉尘、传动能力强等；
5.多种输出格式选择，DXF. WORD. EXCEL等；
6.两个工位，六套同轴共焦点激光，工作效率大大提高。
适用范围
设备主要测量玻璃及晶圆厚度；采用同轴共焦激光测量产品厚度，取5点测量，每片激光采点位置可以有偏差；双工位，六套同轴光同时进行测量，效率更高。
激光测量机构说明
1.左边3组右边3组共6组同轴共焦点激光，切换产品时可通过手动调节激光滑块间距和激光高度来达到激光采点要求；
2.采用产品不动激光移动的测量方式测量；
3.采用一组丝杆+伺服电机在中间位置驱动两条线的激光位移采点，优点是机构简洁，电控信号同步；
4.采用精密滚珠丝杆、精密滑轨和精密手动滑台保持了激光位移采点重复性精度；
5.有限位机构和限位感应开关对丝杆移载限位避免了调试中出现的飞车；
